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潔凈廠房裝修工程不同潔凈級(jí)別換氣次數(shù)

作者: 瀏覽量:517 來源:本站 時(shí)間:2021-12-03 20:58:02

信息摘要:

潔凈廠房裝修工程不同的潔凈等級(jí)需要不同的換氣次數(shù)。換氣次數(shù)=房間送風(fēng)量/房間體積,單位是次/小時(shí)。各等級(jí)的潔凈廠房裝修換氣次數(shù)情況如下所示:各等級(jí)潔凈廠房裝修換氣次數(shù)Table 1-5 Air Changes in Clean Room of Different Classes潔凈廠房等

  潔凈廠房裝修工程不同的潔凈等級(jí)需要不同的換氣次數(shù)。

  換氣次數(shù)=房間送風(fēng)量/房間體積,單位是次/小時(shí)。各等級(jí)的潔凈廠房裝修換氣次數(shù)

  情況如下所示:

  各等級(jí)潔凈廠房裝修換氣次數(shù)

  Table 1-5 Air Changes in Clean Room of Different Classes

  潔凈廠房等級(jí) 換氣次數(shù)

  10萬級(jí)潔凈廠房 N15次/小時(shí)

  萬級(jí)潔凈車間 N25次/小時(shí)

  千級(jí)凈化車間 N50次/小時(shí)

  100級(jí)潔凈室 平流層 0.2—0.45m/s

  潔凈廠房裝修是按氣流狀態(tài)來分,有亂流潔凈廠房、單向潔凈室和輻射潔凈室。亂流潔 凈室特點(diǎn)是從送風(fēng)口到回風(fēng)口的流通截面始終變化,類似一種稀釋的效果,不能 完全將顆粒送向出風(fēng)口,因此它只能達(dá)到1000級(jí)及以下的潔凈度。而單向潔凈室 可以創(chuàng)造出更高的潔凈度,其中垂直單向流潔凈室效果更好。在頂棚布滿高效過 濾器FFU,并利用地板格柵回風(fēng),從而得到均勻向下的單向平行 氣流,自凈能力強(qiáng)。

  潔凈廠房裝修的布局,從平面結(jié)構(gòu)上來看,有三種形式:開放式、 港灣式和島型布置

  目前在8英寸和12英寸的半導(dǎo)體潔凈廠房布局普遍采用開放式潔凈室加微環(huán)境 的方式,此布局方式可以為潔凈室內(nèi)的布局帶來很大的便利性,并且可以減少循 環(huán)風(fēng)量。在開闊的空間內(nèi),如用力室,潔凈度達(dá)到1萬級(jí),然后在局部的作業(yè)室 內(nèi),通過微環(huán)境的控制將潔凈度提高到100級(jí)甚至更高。

  減少空氣的循環(huán)量,需要對(duì)風(fēng)量進(jìn)行精確的控制

  一方面要求潔凈廠房?jī)?nèi)的 設(shè)備布局更加合理,可以設(shè)置微環(huán)境,減少高規(guī)格潔凈室的面積以及單向流的需 求;

  另一方面做好凈化間的密閉性,在合理的范圍內(nèi)降低正壓的控制,保持凈化 間的正壓不要過高"I,都可以減少凈化間內(nèi)所需要的新鮮空氣的總量,降低了潔 凈室的換氣速度,對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)送入的風(fēng)量有進(jìn)一步的降低。

  新風(fēng)量的減小雖然在一定程度上節(jié)約了能源,但往往意味著會(huì)不同程度上降 低室內(nèi)空氣質(zhì)量,而通過液體除濕也可以除去空氣的潛熱負(fù)荷來降低能源消耗, 而不是通過冷卻除濕。結(jié)合兩者,基于液體除濕的空調(diào)系統(tǒng)可以通過增加新鮮空 氣進(jìn)入空調(diào)系統(tǒng)的體積來提高室內(nèi)空氣質(zhì)量。而除濕液 體可以使用氯化鈣、漠而、氯化鋰等金屬鹵鹽除濕溶液a】。

  

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