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大規(guī)模集成電路凈化車間如何設(shè)計?凈化工程公司這樣設(shè)計凈化方案

作者: 瀏覽量:494 來源:本站 時間:2021-12-03 17:28:39

信息摘要:

超大規(guī)模集成電路凈化車間如何設(shè)計?這樣設(shè)計凈化方案!近年來在超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用要求嚴格的潔凈室建造中,潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)采用集中新風(fēng)處理和循環(huán)空氣系統(tǒng)以及微環(huán)境裝置,潔凈室一般采用“三層”結(jié)構(gòu),潔凈生產(chǎn)區(qū)在中層,在潔凈生產(chǎn)區(qū)的下部為下技術(shù)夾層(高度約5.0m左右),主要作為回風(fēng)靜壓箱,并

  超大規(guī)模集成電路凈化車間如何設(shè)計?這樣設(shè)計凈化方案!近年來在超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用要求嚴格的潔凈室建造中,潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)采用集中新風(fēng)處理和循環(huán)空氣系統(tǒng)以及微環(huán)境裝置,潔凈室一般采用“三層”結(jié)構(gòu),潔凈生產(chǎn)區(qū)在中層,在潔凈生產(chǎn)區(qū)的下部為下技術(shù)夾層(高度約5.0m左右),主要作為回風(fēng)靜壓箱,并安裝大部分水、氣、電管線和部分公用動力設(shè)備;在潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部為上技術(shù)夾層,主要作為送風(fēng)靜壓箱、送風(fēng)過濾機組以及循環(huán)空氣處理裝置等。

  

  

  這類潔凈室通常均采用裝配化結(jié)構(gòu),潔凈室的頂棚采用由金屬骨架(鋁合金或不銹鋼)、空氣過濾器、盲板以及與屋頂鋼架或混凝土屋架附加的鋼結(jié)構(gòu)組成,頂棚結(jié)構(gòu)覆蓋了整個潔凈生產(chǎn)區(qū),是掛在鋼結(jié)構(gòu)上可以根據(jù)要求調(diào)整水平等;頂棚尺寸按所采用的空氣過濾器或過濾機組、盲板尺寸確定,而過濾器、盲板則按工藝要求的潔凈室的分隔進行布置;若工藝要求分隔進行調(diào)整、變更時,過濾器、盲板可以方便地隨之變化。

  根據(jù)工藝要求的潔凈室的潔凈度等級,可調(diào)整過濾器、盲板的布置以及隨之按要求實現(xiàn)不同的室內(nèi)氣流流型。

  通常有兩種過濾器頂棚形式,即“干式”和“液槽式”。干式中的過濾器與盲板或頂棚格柵的密封靠彈性密封墊,采用壓緊裝置壓緊進行密封;液槽式是在專用的液槽內(nèi)充人非牛頓液密封膠進行密封,過濾器的特殊刀口插人液槽形成液封,進行密封。

  潔凈室的分隔板(墻)將潔凈廠房中的工藝核心區(qū)與服務(wù)區(qū)分開,潔凈室的分隔系統(tǒng)是由框架結(jié)構(gòu)、單層或雙層玻璃墻和門單元組成;框架一般為鋁合金制作,典型的墻板涂有導(dǎo)電漆的鋼板,玻璃墻板是由導(dǎo)電的疊層透明玻璃、型材及其密封裝置所構(gòu)成;有玻璃窗的門的四周及與地面?zhèn)染O(shè)密封條;金屬板表面必須光滑、可清潔、耐沖擊,且不掉塵。

  以上就是奧宣凈化為大家分享的超大規(guī)模集成電路凈化車間如何設(shè)計的方法,這樣設(shè)計才好,你學(xué)會了嗎?如果你還有其他無塵車間施工的難題,可以聯(lián)系我們尋求幫助。

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